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晶圓拋光晶片拋光過(guò)程中旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的平面度檢測(cè)設(shè)備推薦
在半導(dǎo)體制造設(shè)備的晶片拋光過(guò)程中，需要保持裝有晶片的上板和鋪有拋光布的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)（下板）的平面度。如果出現(xiàn)問(wèn)題，晶圓就會(huì)厚度不均勻，不平整，無(wú)法進(jìn)行均勻的拋光。此外，曝光期間圖像也會(huì)失焦。
晶圓的平整度對(duì)于后續(xù)的曝光工藝至關(guān)重要，因此在拋光過(guò)程中必須保持平整。
我們的數(shù)字水準(zhǔn)儀用于保證上下平臺(tái)的平整度。
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在垂直距離較窄的地方進(jìn)行水平觀(guān)察也可以！
| 物品 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| 傳感器部分 | 線(xiàn)性角 | X方向±0.3度 Y方向±0.3度 |
| 測(cè)量分辨率 | 0.0002度 | |
| 零點(diǎn)重復(fù)性 | ±0.001度或更小 | |
| 響應(yīng)速度 | 50 毫秒或更短 | |
| 工作溫度 | -10℃～＋50℃ | |
| 主體 | 微電腦 | 32位 |
| 模數(shù)部分 | 14位 | |
| 測(cè)量范圍 | ±0.3度 | |
| A/D分辨率 | 0.000025度 | |
| 顯示單元 | 0.0001度 | |
| 通過(guò)范圍設(shè)定范圍 | 0.0001度 | |
| 量程切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| 超過(guò)顯示 | 0.3度以上 | |
| 功能 | 傳感器連接數(shù) | 1通道 |
| 顯示部分 | 4.3英寸彩色液晶觸摸屏 | |
| 480×272點(diǎn) | ||
| 電源 | 專(zhuān)用AC適配器DC6V/2A | |
| 4 節(jié) AA 電池（1.5V） | ||
| 外形尺寸 | 監(jiān)視器 | 寬96×深36×高145毫米 |
| 傳感器（SUS底座） | φ50×H19毫米 | |
| 電纜 | 2米 | |
| 重量 | 監(jiān)視器 | 392克 |
| 傳感器 | 70克 | |
| 配件 | 4 節(jié) AAA 電池（1.5V） | |
| 專(zhuān)用AC適配器DC6V/2A | ||
| 操作說(shuō)明 | ||
