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采用球型 SAW 傳感器技術的微量水分計

發(fā)布時間:2022-07-28 點擊量:1111

采用球型 SAW 傳感器技術的微量水分計

Ball Wave的基本技術“Ball SAW Sensor"是一種創(chuàng)新的化學傳感技術,實現(xiàn)了小尺寸、高速和高靈敏度。

根據(jù)測量對象的不同,通過在微小的水晶球(球)表面形成不同的敏感膜,可以測量各種氣體和氣體,如微量水、氫氣、天然氣和有機混合氣體。

除了水晶球的耐高溫和高壓外,它還具有比傳統(tǒng)技術高約 100 倍的靈敏度和高速響應,擴展了未有的全新傳感器系統(tǒng)的可能性。

球 SAW 傳感器技術

球型 SAW 傳感器

球型 SAW 傳感器

SAW;表面聲波 表面聲波

當在球體表面激發(fā)表面波,其寬度為球體直徑和波長的幾何平均寬度時,
會發(fā)現(xiàn)表面波作為自然平行光束多次繞行的物理現(xiàn)象,不會引起一種衍射現(xiàn)象。

多圈SAW擴展了聲速變化和衰減系數(shù)隨圈數(shù)的變化,可以更準確地測量變化。
通過在這種多循環(huán)傳播路徑上安裝敏感膜,可以獲得緊湊、高速、高靈敏度的球型 SAW 傳感器。

超微量水分計“Falcon Trace"是使用球型SAW傳感器定量測量工業(yè)氣體和天然氣中極微量水分子的設備。

響應速度極快,可實時監(jiān)測含水量變化,可測量含水量和背景氣體成分分析兩項。氣體中的水濃度可以精確測量到 1 ppb (1/10 億) 的水平。

球SAW傳感器測量原理

① 表面聲波(IDT;Inter Digital Transducer)產生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道線上循環(huán),對所施加的敏感膜的微小變化作出
反應 ③ 反應后表面聲波的信號變化 異形電極檢測
④ 通過多輪積分微小變化實現(xiàn)高靈敏度傳感。



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